반도체

EUV 막히자 DUV로 우회?” ASML, 중국 군기관 공급 드러나며 안보 논란

디지털데일리 발행일 2025-12-10 09:49:09
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김문기 기자

[ⓒ연합뉴스]

[디지털데일리 김문기기자] 네덜란드 반도체 장비 기업 ASML이 중국 군 관련 기관에 DUV 노광장비를 판매한 사실이 확인되며, 유럽 내 기술안보 논의가 다시 수면 위로 떠올랐다.

최근 네덜란드 공영방송 NOS와 미IT전문매체 톰스하드웨어에 따르면 이번 ASML의 중국 군 관련 거래 내역이 첫 공개됐다.

외신에 따르면 ASML은 즉각 “구형 기술이며 최첨단 칩 생산에는 사용될 수 없는 장비”라고 해명했다. 실제로 장비 해상도는 38nm 수준으로, 최신 EUV 시스템과는 기술적 간극이 크다.

다만, 이번 거래는 기술 수준이 아니라 중국이 EUV 우회 전략의 핵심 수단으로 DUV를 활용하고 있다는 구조적 흐름에 있다. EUV 공급이 차단된 상황에서 중국은 DUV 기반 다중 패터닝과 후공정을 이용해 28nm·14nm·7nm 공정을 밀어붙이고 있다. ‘구형 기술’이더라도 그 전략적 가치를 무시하기 어렵다는 지적이 나오는 이유다.

특히 장비가 흘러들어간 기관은 민감도가 높다. NOS에 따르면 장비 구매 기업 중 하나가 중국전자기술그룹(CETC) 산하 조직으로, 미사일·레이더·드론 등 군사용 시스템을 제조하는 핵심 업체라고 밝혔다. 또 다른 공급처로 지목된 선전국제양자아카데미는 중국 양자컴퓨팅 연구의 중심 기관이다. 네덜란드 군사정보안보국(MIVD)은 양자 기술을 국가안보 측면에서 고위험 분야로 경고해 온 만큼, DUV라 하더라도 군·양자용 반도체 개발에 쓰일 가능성이 제기된다.

다만 ASML과 네덜란드 정부는 장비 전체가 수출통제 대상이 아니며, 다수 부품은 전략적 민감도가 낮다는 입장이다. 그러나 RAND 유럽 연구진과 중국 기술 전문가들은 이 해석을 지나치게 단순화했다며, DUV 장비가 구형이라는 설명은 기술적 분류일 뿐 전략적 관점에서는 핵심 부품만으로도 민감도가 충분히 높다고 평가했다.

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김문기 기자
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