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[디지털데일리 고성현기자] 네덜란드 반도체 장비 기업인 ASML의 크리스토프 푸케 최고경영자(CEO)가 전영현 삼성전자 전영현 삼성전자 DS부문장(부회장)과 곽노정 SK하이닉스 대표를 만난다.

12일 업계에 따르면 푸케 CEO는 이날 오전 경기 화성시 ASML 화성캠퍼스 준공식에 참석했다. 이번 준공식에는 푸케 CEO를 비롯해 강감찬 산업부 무역투자실장, 페이터 반 더 블리트 주한 네덜란드 대사, 삼성전자·SK하이닉스 관계자 등 80여명이 참석했다.

ASML은 네덜란드 반도체 장비 기업으로 반도체 미세 회로를 그리는 노광 장비를 제조하고 있다. 특히 7나노, 4나노 이하 초미세회로에 활용되는 심자외선(DUV)·극자외선(EUV) 노광 장비를 글로벌 반도체 제조사에 독점 공급하고 있다.

푸케 CEO는 이날 준공식이 끝난 오후 전영현 삼성전자 DS부문장을 만날 예정이다. 전날에는 곽노정 SK하이닉스 대표와 회동한 것으로 전해졌다. ASML이 화성 캠퍼스 준공을 계기로 국내 EUV 장비 트레이닝·공급 판도를 넓히는 만큼, 핵심 고객인 국내 양대 반도체 제조사를 만나 차세대 협력 방안 등을 논의한 것으로 풀이된다.

삼성전자와 SK하이닉스는 시스템반도체와 메모리인 D램 분야에 EUV 노광 장비를 도입해 활용하고 있다. 삼성전자는 7나노미터(㎚)이하 파운드리 공정부터 EUV 공정을 적용해 활용 중이며, 2나노 이하 시스템반도체·10나노 이하 D램에 활용되는 고개구율 극자외선(High-NA EUV) 장비를 올해 초 설치하기도 했다. SK하이닉스도 9월 D램 공정에 적용할 High-NA EUV 장비를 이천 M16팹에 반입했다.

High-NA EUV는 기존 EUV 장비보다 해상도를 크게 향상해 초미세회로 구현에 쓰인다. 한 대 당 장비 가격이 5000억원을 넘는 데다 연간 5~6대만 생산되고 있어, 이를 우선적으로 확보하기 위한 경쟁도 치열한 상황이다.

한편, 이날 준공식이 열린 화성캠퍼스는 ASML이 국내 EUV 엔지니어 훈련과 EUV 장비용 부품 재제조를 위해 올해까지 짓기로 한 센터다. DUV, EUV용 첨단장비 부품 재제조센터(R&R센터)와 EUV 트레이닝 센터 등이 포함돼 있다.

구체적으로 화성캠퍼스는A동은 지하 4층~지상 11층, B동 지하 4층 ~지상5층 규모의 첨단 복합 클러스터로, A동에는 주요 사무 공간이, B동에는 Repair&Reuse Center (이하 R&R 센터) 및 트레이닝 센터가 들어섰다. 트레이닝 센터는 ASML과 고객사를 포함해 연간 약 2000명 교육생 대상으로 100여개 이상 프로그램을 운영한다. 이곳은 첨단 EUV·DUV 장비뿐 아니라 향후 High NA EUV 장비 교육도 제공할 예정이다.

R&R센터는 신속한 수리 대응과 수리 부품 재사용을 통해 효율성을 높이는 작업에 나선다. ASML은 이 센터의 역할을 장비 유지보수 및 부품 수리로 확대할 계획이다.

ASML은 화성캠퍼스 준공을 계기로 삼성전자, SK하이닉스 등 국내 반도체 기업과의 공정 협력 및 기술 교류를 강화한다. 아울러 국내 소재·부품·장비 기업과의 연계 생태계를 구축해 한국 반도체 산업과의 상생형 협력 모델을 본격화한다.

이날 축사에 나선 강감찬 산업통상부 무역투자실장은 "한국 반도체 산업 발전에는 지자체와 중앙정부, 국가 간의 긴밀한 협력이 중요하다"며 "오늘의 준공은 그 협력의 좋은 사례이다. 앞으로도 한국과 네덜란드 양국 간의 반도체 기술 협력과 투자가 더욱 긴밀하게 이어지기를 기대한다"고 말했다.

크리스토프 푸케 ASML CEO는 "화성시에 캠퍼스를 조성하기로 한 것은 매우 전략적인 결정이다. 새로운 화성캠퍼스는 한국 고객과의 신뢰, 혁신, 지속 가능성, 그리고 성장을 향한 ASML의 의지를 보여주는 상징적인 공간"이라며 "또한 주요 반도체 제조사들이 위치한 화성시에 자리해 있어, 보다 긴밀한 협력과 신속한 기술 지원이 가능하다. 반도체 제조 공정이 복잡해지는 가운데, 이러한 근접성은 효율적인 기술 이전에도 기여할 것"이라고 밝혔다.

최한종 ASML 코리아 대표이사는 "ASML 코리아 설립 30주년을 맞아 화성캠퍼스를 개관하게 돼 감회가 새롭다. 한국 반도체 산업과 함께 일궈온 성과를 바탕으로, 임직원에게 자부심을 주는 자랑스러운 ASML 코리아가 되도록 최선을 다하겠다"고 말했다.