HBM4용 TC 본더4. [ⓒ한미반도체]

[디지털데일리 배태용 기자] 한화세미텍과 한미반도체 간의 특허 공방이 정면충돌로 번지고 있다. 한화세미텍이 HBM(고대역폭메모리)용 TC본더 장비의 핵심 기술과 관련해 한미반도체를 상대로 특허침해 소송을 제기한 가운데, 한미반도체는 '사실에 근거하지 않은 역고소'라며 강하게 반박했다.

28일 반도체 업계 및 법조계에 따르면 한화세미텍은 최근 김앤장 법률사무소를 소송대리인으로 선임하고 한미반도체를 상대로 TC본더 관련 특허침해 소송을 제기했다.

이로써 지난해 12월 한미반도체가 먼저 한화세미텍을 상대로 소송을 제기한 데 이어, 양측은 약 1년 만에 '특허 맞소송' 구도를 형성했다.

쟁점이 된 TC본더는 반도체 후공정 핵심 장비로, 열·압착을 통해 칩과 웨이퍼를 접합하는 장비다. 특히 HBM 생산 과정에서 D램 적층(Through-Silicon Via, TSV) 공정에 사용되는 필수 설비로 최근 AI 서버 수요 확대로 HBM3E 등 고성능 메모리 양산이 늘면서 관련 시장이 급성장하고 있다. 한화세미텍은 한미반도체의 HBM3E용 TC본더 일부 구성 부품이 자사 특허를 침해했다는 입장이다.

한화세미텍의 TC본더 'SFM5-Expert' [ⓒ한화세미텍]

한미반도체는 이날 공식 입장문을 통해 "이번 소송은 사실에 근거하지 않은 적반하장 소송"이라며 "당사가 한화세미텍의 기술 침해에 정당하게 대응하자 이에 맞서 후안무치한 역고소를 제기한 것"이라고 밝혔다.

회사는 이어 "한미반도체는 TC본더 시장의 글로벌 1위 기업으로, 업계 최초로 관련 장비를 상용화한 이래 독자적인 원천기술과 최장 업력을 보유하고 있다"며 "법적 절차를 통해 정당한 권리를 보호하고 기술 혁신과 고객 신뢰를 최우선으로 하겠다"고 강조했다.

현재 한미반도체와 한화세미텍 모두 SK하이닉스에 HBM용 TC본더를 공급 중인 만큼, 이번 소송 결과는 양사뿐 아니라 국내 HBM 후공정 장비 공급망 전반에도 영향을 미칠 가능성이 있다.

만약 법원이 한화세미텍의 특허를 인정할 경우, 관련 기술이 적용된 설비의 제조 및 판매가 제한될 수 있다. 다만 업계는 소송이 아직 1심 단계에 진입하지 않은 만큼, 결과까지 수년이 소요될 가능성이 크다고 보고 있다. 이미 납품된 장비에는 법적 효력이 미치지 않아 단기적 공급 차질은 제한적일 것으로 전망된다.