램테크놀러지, 반도체 식각 소재 200억원 투자

2022.08.08 17:37:54 / 김도현 dobest@ddaily.co.kr

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- 자동화 설비 2024년 2월까지 순차 가동

[디지털데일리 김도현 기자] 반도체 화학소재 업체 램테크놀러지가 시설투자를 단행한다.

8일 램테크놀러지(대표 길준봉)는 200억원 규모 공장증축 및 시설증설 투자를 결정했다고 밝혔다.

이번 건은 반도체용 질화막식각액에 대한 자동화 생산 설비 증설과 종합분석센터 구축, 산화막식각액 설비 증설, 고선택비 질화막식각액 설비 보완 등에 대한 것이다. 충남 금산사업장 부지에서 진행된다. 기간은 오는 2024년 2월 말까지다.

지난 6월 램테크놀러지는 ‘고선택비 질화막 식각액 검증을 위한 배치형 식각 장치’ 특허를 등록하는 등 HSP(High Selectivity Phosphoric acid) 사업 진출을 준비 중이다. 이번 고선택비 질화막식각액 설비 보완으로 제품 생산에 박차를 가할 방침이다.

램테크놀러지는 “반도체용 질화막식각액에 대한 수요가 지속되고 있는 만큼 자동화 생산 설비 공장 증축으로 생산능력 확대, 품질향상 등을 위해 이번 투자를 결정했다”며 “공장 설립 관련 행정소송으로 불산 공장 구축이 지연되고 있으나 반도체 공정용 소재 사업을 다각도로 키워 경쟁력을 끌어올릴 수 있도록 노력하겠다”고 전했다.



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