나노종기원, 12인치 반도체 20나노 공정 개발

2022.05.30 11:21:37 / 김도현 dobest@ddaily.co.kr

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- 신규 장비 없이 40나노→20나노 패턴 구현

[디지털데일리 김도현 기자] 나노종합기술원이 소재·부품·장비(소부장) 국산화 지원에 속도를 낸다. 노광공정 테스트 범위를 넓혔다.

30일 나노종기원은 12인치(300mm) 반도체 20나노미터(nm) 미세패턴 공정기술을 개발했다고 밝혔다.

나노종기원은 작년 3월부터 국내 최초로 12인치 반도체 테스트베드 운영을 시작했다. 앞서 8인치(200mm) 반도체 장비만 보유하다가 12인치 설비를 추가하면서 최신 공정에 대한 샘플 테스트 등도 가능케 했다.

나노종기원은 불화아르곤(ArF) 이머전 스캐너 등을 통해 40nm대 패턴, 증착 등 공정 서비스를 제공해왔다. 소부장 업계에서는 대기업 반도체 생산 기술 수준에 부합하는 소재 및 장비 개발을 위한 20nm급 미세패턴과 증착 서비스를 요청했다.

이에 나노종기원은 공정별 전문가로 구성된 테스크포스(TF)를 구성해 공정 개발을 추진했다. 6개월 내 추가 장비 투자 없이 20nm 미세패턴을 구현해냈다. 구체적으로는 40nm 노광 및 식각 공정 기반으로 SADP(Self-Aligned Double Patterning) 기술을 개발, 20nm 미세패턴을 완성했다. 향후 서비스 영역 확장도 진행할 방침이다.

나노종기원은 “이미 보유한 12인치 장비를 통해 기술을 구현해 200억원 이상 예산을 절감했다”면서 “개발기간 단축과 집적도를 4배 높일 수 있는 기술을 확보했다는데 의의가 있다”고 설명했다.

이조원 나노종기원장은 “이번 개발은 12인치 반도체 테스트베드 활용도를 획기적으로 높일 수 있는 성과”라며 “향후 국내 반도체 대기업 및 소부장 업체 연계와 협력을 기반으로 반도체 강국 구현을 위한 역할과 책임을 더욱 강화할 것”이라고 전했다.


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