- 지난 3일 독일 베를린 공장 화재…웨이퍼 클램프 생산 기지
- 리드타임 최대 18개월에서 더 늘어날 듯


[디지털데일리 김도현 기자] 극자외선(EUV) 장비 조달에 차질이 생길 전망이다. 독점 공급사 네덜란드 ASML 부품 공장에서 화재가 발생한 탓이다. 반도체 수탁생산(파운드리) 업체에 이어 메모리 제조사도 도입을 본격화한 가운데 업계 전반의 피해가 우려된다.

9일 ASML은 “지난 3일 독일 베를린 사업장 내 공장에서 불이 나 EUV 시스템 모듈인 웨이퍼 클램프 생산에 영향을 줄 것”이라고 밝혔다.

앞서 ASML은 화재 직후 관련 소식을 전하면서 밤사이 불은 진화됐고 인명 피해는 없었다고 발표했다. 양산 계획에 대한 영향은 추후 공개하겠다고 언급했다.

이번 사고 이후 심자외선(DUV) 장비 부품 생산은 재개한 것으로 알려졌다. ASML은 “약간의 중단이 있었으나 출하와 매출에는 영향을 미치지 않는 방식으로 해결될 것”이라고 설명했다.

다만 EUV 장비는 손실이 불가피한 상황이다. 노광공정 시 웨이퍼를 고정하는 웨이퍼 클램프가 대상이다. 부품 하나만 빠져도 정상 작동이 어려운 만큼 생산 일정에 일부 영향을 줄 것으로 보인다.

회사는 “해당 지역에 대한 복구 계획을 완료하고 고객에 대한 잠재적 영향을 최소화하는 방법을 마련하고 있다”면서 “오는 19일 실적 컨퍼런스콜에서 추가 업데이트를 제공할 예정”이라고 이야기했다.

EUV는 DUV에 이은 차세대 노광 기술이다. 대당 2000억원에 달하지만 글로벌 반도체 업체 간 확보 전쟁이 치열하다. 2020년 31대, 2021년 40대 내외 제조될 정도로 연간 생산량이 많지 않기 때문이다.

시장조사기관 트렌드포스에 따르면 EUV 장비 리드타임(주문부터 납품까지 소요 기간)은 12~18개월이다. 이번 사고로 더 늘어날 전망이다.

삼성전자에 이어 대만 TSMC가 활용하면서 양사는 ASML과 협업을 강화하는 분위기다. 파운드리 시장 진출을 공식화한 인텔도 차세대 EUV 장비 선점 계획을 공개하는 등 구매 경쟁에 참전했다. 아울러 SK하이닉스, 미국 마이크론, 대만 난야테크놀로지 등 메모리 업계도 투입했거나 예정이어서 수요공급 불균형이 심화할 가능성이 크다.

트렌드포스는 “ASML이 다른 공장에서 필요한 부품을 조달할 수도 있다. 실제 EUV 설비 공급에 대한 영향은 지켜봐야 할 것”이라고 분석했다.


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