- 램테크놀러지, 액체·기체 초고순도 불화수소 생산기술 확보

[디지털데일리 김도현 기자] 국내 기업이 반도체 소재 분야에서 일본 수출 규제를 무력화할 수 있는 성과를 냈다.

22일 램테크놀러지는 초고순도 불화수소를 개발했다고 밝혔다. 액체와 기체 형태 모두 생산 가능한 기술로 알려졌다.

불화수소는 반도체 회로를 깎거나 세정에 쓰이는 소재다. 미세공정에서는 정확도와 완성도를 높이기 위해 99.9999%(6N) 이상 초고순도 제품이 사용된다.

램테크놀러지는 “기존 방식은 형석을 가지고 ▲증류법 ▲전기 분해법 ▲흡착법 ▲막분리법 등 다양한 정제 공정을 통해야 했지만 이번에 개발한 방식은 전처리과정이 생략된다”고 설명했다.
가장 주목할 부분은 순도다. 그동안 반도체 소재 강국인 일본은 12N 불화수소까지 양산했다. 프리미엄 시장에서는 일본 쇼와덴코 모리타 스텔라케미파 등이 사실상 독점하고 있다. 일본 수출규제 당시 고순도 불화수소가 3대 제재 품목에 포함된 이유다.

국내 SK머티리얼즈 솔브레인 램테크놀러지 등이 불화수소 국산화에 성공했으나 품질 측면에서는 격차가 존재하는 것으로 알려졌다. 램테크놀러지가 초고순도 불화수소 양산에 돌입할 시 일본 기술력을 넘어서는 첫 사례가 된다. 다만 양산 관련 구체적인 일정은 미정이다.


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