영우디에스피, 디스플레이 검사장비 특허 등록

2021.09.01 13:55:24 / 김도현 dobest@ddaily.co.kr

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- ‘멀티 프로브 유닛’ 관련 내용…반도체 사업도 준비

[디지털데일리 김도현 기자] 영우디에스피가 디스플레이 검사장비 기술력을 강화한다.

1일 영우디에스피는 디스플레이 검사용 멀티 프로브 유닛 특허를 등록했다고 밝혔다. 패널 제조 후 전극패드에 전기적 신호를 가해 화소 불량 유무를 검사하는 멀티 프로브 유닛에 관련된 내용이다.

기존 프로브 유닛은 전극패드에 정상적으로 접촉될 수 있도록 각각 프로브블럭에 대한 컨택 위치를 수동으로 정렬하는 셋업 과정을 거친다. 프로브블럭 마다 내장된 이송장치를 통해 개별적으로 좌우 및 상하 컨택 위치가 정렬되는 방식이다. 다만 이송장치 내장화로 인해 프로브블럭 구조 및 제작과정이 복잡해졌다.

이를 해결하고자 영우디에스피는 각 프로브블럭에 대한 개별적인 컨택 위치 정렬이 자동으로 가능한 디스플레이 검사용 멀티 프로브 유닛 방식을 채택하기로 했다. 구조가 단순해지고 제작성이 향상되는 장점이 있다.

회사는 지난 7월 산업통상자원부가 주관하는 ‘10나노미터(nm) 이하 반도체 결함 검사장비용 자외선 렌즈모듈 실장 성능평가 기술개발’ 사업 세부 주관기관으로 선정됐다. 영우디에스피는반도체 심자외선(DUV) 대물렌즈 실장 및 성능평가용 수입검사(IQC)와 검사기 시스템을 개발한다.

영우디에스피 관계자는 “최근 디스플레이 시장이 지속 증가하고 있어 검사장비 기술에 대한 관심 높아질 것”이라며 “특허를 기반으로 신사업인 반도체 검사장비 사업까지 확대할 방침”이라고 말했다.


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