- 美 브룩스오토메이션과 경쟁…EUV 시장 성장세로 물량 증가

[디지털데일리 김도현 기자] 삼성전자가 극자외선(EUV) 라인을 확대했다. 협력사도 분주하다. EUV 라인 관련 업체 수혜가 예상된다.

30일 업계에 따르면 디바이스이엔지는 삼성전자 화성사업장 EUV 전용라인 ‘V1’ 등에 풉(FOUP:Front Open Unified Pod) 세정장비를 공급했다.

풉은 웨이퍼가 담긴 통이다. 웨이퍼는 풉에 담겨 각 공정을 이동한다. 풉 세정장비는 공정을 마친 후 풉 내부 이물을 세척하는데 쓴다. 초순수(오염 물질을 제거한 물)를 사용한다. 삼성전자는 그동안 디바이스이엔지,일본 휴글, 미국 브룩스오토메이션 등의 풉 세정장비를 사용했다. 디바이스이엔지는 작년 EUV 풉 세정장비도 납품을 시작했다.

삼성전자는 EUV를 반도체 위탁생산(파운드리)에서 D램으로 넓히고 있다. EUV 라인이 늘어나면 EUV용 풉 세정장비 필요량이 늘어난다. 브룩스오토메이션과 물량을 분배하더라도 디바이스이엔지 수혜가 기대된다.

한편 디바이스이엔지는 삼성 계열사 세메스 출신 임원들이 경영진 대다수를 차지한다. 풉 세정장비와 유기발광다이오드(OLED) 노광공정에서 쓰이는 파인메탈마스크(FMM) 오염제거장비가 주력이다. 국내외 반도체, 디스플레이 업체를 고객사로 두고 있다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr



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