[소부장 유망기업탐방] 제우스, ‘日 독점’ 반도체 세정장비 국산화

2020.11.01 10:56:16 / 김도현 dobest@ddaily.co.kr

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삼성전자 SK하이닉스 삼성디스플레이 LG디스플레이는 세계 반도체·디스플레이를 주도하고 있다. 하지만 이를 만들기 위한 소재·부품·장비(소부장)는 해외의존도가 높다. 지난 10여년 줄곧 지적했던 문제다. 일본 수출규제는 한국 기업의 약점을 부각했다. <디지털데일리>는 소부장 육성을 위해선 무엇이 필요한지, 우리 기업은 어떤 노력을 하고 있는지 등 유망기업을 만나 현장의 목소리를 들어봤다.<편집자주>

[디지털데일리 김도현 기자] 장비업체 제우스가 무게중심을 디스플레이에서 반도체로 옮긴다. 국내 투자가 줄고 중국의존도가 높아진 디스플레이보다는 투자 여력이 많고 기복이 덜한 반도체를 주력으로 삼는 차원이다.

지난달 26일 경기도 오산사업장에서 만난 제우스 관계자는 “일본이 독점했던 반도체 장비를 국산화했고 사업 포트폴리오 다각화를 통해 실적 개선을 노리고 있다”고 말했다.

제우스는 지난 1970년 세워진 업체다. 설립자 이동악 회장이 상사로 시작했고 1981년 장비 사업을 시작했다. 현재는 장남 이종우 대표가 회사를 이끌고 있다. 그는 미국 마그마·케이던스 등에서 재직했고 2005년부터 제우스에 합류했다. 2011년 대표로 취임했다. 이 대표는 반도체 디스플레이는 물론 태양전지 로봇 등으로 사업영역을 넓혀가고 있다.

제우스가 밀고 있는 제품은 반도체 습식 세정장비다. 세정액에 반도체 웨이퍼를 담가 불순물을 제거하는 역할을 한다. 한 장씩 처리하는 ‘싱글형’ 한 번에 20~50장 처리하는 ‘배치형’으로 나뉜다. 싱글형은 제우스 세메스 무진전자 등 국내 업체도 생산하고 있지만 배치형은 상황이 다르다. 일본 도쿄일렉트론(TEL) 다이니폰스크린(DNS) 등이 독점하고 있다. TEL이 시장점유율 50% 이상이다.

제우스는 지난 2009년 일본 J.E.T를 인수해 배치형 사업도 일부 하고 있었지만 직접 제작 및 판매는 하지 않았다. 제우스는 올해 관련 법인을 세우고 생산라인을 구축했다. 경기도 화성에는 반도체 웨이퍼 테스트 공장 ‘바이오밸리’를 최근 준공하기도 했다.

회사 관계자는 “내년 1월부터 배치형 세정장비가 화성사업장에서 생산된다. 삼성전자 SK하이닉스 등 국내 고객사 물량은 이곳에서 대응한다”며 “J.E.T의 일본 사업장에서는 중국 등 외국업체 물량을 담당한다”고 설명했다.

지난해 일본 수출규제 이후 소부장 국산화가 트렌드로 자리 잡으면서 제우스도 기회를 포착했다. J.E.T를 통해서만 납품하던 배치형 세정장비를 국내 생산체제로 전환한 이유다. 제우스의 자회사 APTC는 세정액 등 다양한 화학품을 제공하고 있다. 양사 간 시너지도 기대된다.
제우스는 고온황산장비(HTS)도 공급을 시작했다. HTS 역시 세정장비지만 기존 제품과 차이점이 있다. 기성장비가 화학품 간 발열반응을 통해 웨이퍼 온도를 높였다면 HTS는 플레이트를 가열하는 방식으로 처리한다. 이렇게 되면 화학품 사용량을 대폭 줄일 수 있다. 기존으 30%만 사용하고도 같은 효과를 낼 수 있다. 재료비 절감 등의 이점이 있다. 고객사에서 관심을 보이고 있어 향후 수주 물량이 늘어날 것으로 예상된다.

디스플레이 사업에서는 인라인 물류장비, 경화된 패널 식히는 HP/CP 장비, 고온 열처리 장비 등을 다룬다. 삼성디스플레이 LG디스플레이 물론 중국 BOE CSOT 등이 고객사다. 다만 다양한 고객사 만큼 물량이 많지는 않다.

제우스는 액정표시장치(LCD)용 위주였지만 유기발광다이오드(OLED)로도 영역을 확대하고 있다. 특히 LG디스플레이와 10.5세 OLED 열처리 장비를 공동 개발해 납품을 기다리고 있다. LG디스플레이의 경기도 파주사업장 투자가 본격화되면 공급이 개시된다.

이외에도 태양전지 제조장비, 플러그 밸브, 산업용 로봇 시장에도 진출했다. 제우스 관계자는 “태양전지 쪽은 고객사 투자가 많지 않고 플러그 밸브는 중동 플랜트 사업이 부진하면서 자회사 3Z가 최근 큰 성과를 내지 못하고 있다”면서 “3Z의 경우 울산 오일허브에 수주를 성공하면 실적 개선이 이뤄질 가능성이 크다”고 언급했다.

로봇 사업은 이 대표가 집중하고 있다. 지난해 다관절로봇 ‘제로’ 시리즈를 선보였고 후속 제품도 준비 중이다. 일본 산쿄의 로봇을 수입해서 판매하는 구조다. 지난달 28일을 열린 ‘2020로보월드’에서는 새 모델인 스카라, 델타 등을 선보이기도 했다. 당장 수익이 크지 않지만 성장세를 이어가고 있다.

한편 제우스는 한국채택국제회계기준(K-IFRS) 연결기준 2분기 매출액 1205억원, 영업이익 146억원을 기록했다. 전년동기대비 각각 23.1%, 131.1% 오른 수준이다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr


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