- 하드마스크·포토레지스트 스트립장비 양산

[디지털데일리 김도현기자] 피에스케이가 스트립(Strip)장비 국산화를 주도하고 있다. 이 제품은 반도체 노광공정 이후 불필요한 부분을 날리는 장비다. 미국, 일본 업체들이 경쟁사다.

14일 피에스케이에 따르면 하드마스크 스트립장비를 포트폴리오에 추가해 경쟁력을 강화했다. 지난해 말부터 판매를 시작, 올해 실적 개선에 기여할 전망이다.

하드마스크 스트립장비는 말 그대로 하드마스크를 제거하는 역할을 한다. 하드마스크는 회로패턴이 새겨진 포토마스크 보조재료다. 반도체 회로는 포토레지스트(PR, 감광액)가 발린 웨이퍼에 포토마스크를 얹고, 빛을 쏴 포토마스크에 새겨진 대로 그린다. 이 단계가 노광공정이다.

여기서 하드마스크는 패턴 붕괴를 막고, PR을 일부 남기기 위해 추가된다. PR을 남겨두는 이유는 이후 공정에서 웨이퍼를 보호할 층이 필요하기 때문이다. 노광공정이 끝나면 하드마스크 스트립장비로 하드마스크 찌꺼기를 날린다.

최근 반도체 회로 선폭이 미세화되면서, 하드마스크 필요성이 증가하는 추세다. 이에 하드마스크 스트립장비 시장도 성장세다. 피에스케이는 이 분야에서 경쟁사 대비 기술력이 앞선 것으로 평가받는다.

기존 피에스케이의 주력은 PR 스트립장비다. 이 장비는 남겨진 PR을 제거한다. 피에스케이의 제품은 플라즈마로 PR을 없애는 ‘건식(드라이)’ 스트립장비다. 플라즈마는 기체가 초고온 상태로 가열돼 전자와 양전하를 가진 이온으로 분리된 상태다.

피에스케이는 드라이스트립 장비 시장점유율 46%를 차지, 세계 1위다. 삼성전자, SK하이닉스 등 국내는 물론 해외 반도체 제조사에도 공급 중이다. 시장 내 경쟁자로는 미국 램리서치, 일본 히타치하이테크놀로지 등이 있다.

반도체 업계 관계자는 “반도체 장비는 미국과 일본 업체들이 주도하는 분야다. 특히 전공정 장비는 해외의존도가 높고, 국내 업체들은 후공정 위주”라면서 “피에스케이가 토종 장비업체로서 스트립장비 시장을 이끌고 있는 것은 의미가 있다”고 설명했다.

한편 ‘습식’ PR 스트립장비는 일본 도쿄일렉트론, DNS 등이 강세다. 이들 업체는 웨이퍼 한 장씩 처리하는 ‘싱글형’과 50장씩 투입 가능한 ‘배치형’ 모두 공급하고 있다. 국내 제우스, 세메스 등도 습식 타입 장비를 양산하지만 싱글형 제품으로 한정된다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr


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