- 레고 블록으로 평택 1라인 구현…유튜브 영상 게시

[디지털데일리 김도현기자] 삼성전자가 반도체 클린룸의 안정성을 소개했다. 다소 딱딱할 수 있는 내용을 레고 블록이라는 친숙한 소재로 설명했다.

29일 삼성전자는 ‘FAB on the Block : 클린룸의 비밀’이라는 영상을 공개했다. 경기도 팽택 1공장을 520대 1 크기로 축소한 레고 블록 모형을 제작하는 과정을 담았다. 모형 구현에 블록 1만5000여개가 활용됐다.

반도체는 나노(10억분의 1m) 단위 공정을 적용하기 때문에 민감하다. 아주 미세한 먼지라도 웨이퍼 표면에 있으면 반도체가 정상 동작하지 않는다. 이는 제품의 수율, 품질 등을 떨어뜨린다. 반도체 공정에서 청결이 중요한 이유다.
외부 오염요소로부터 반도체를 보호하기 위해 방진복 착용, 클린룸 설치 등이 필수다. 클린룸에서는 천장과 바닥에 설치된 필터를 통해 내부공기를 순환시킨다. 습도와 온도 등도 조절해 완벽한 공기 청정도를 유지한다.

삼성전자는 해당 모형으로 반도체 라인의 공조 시스템부터 설비, 웨이퍼, 자동화 시스템 등 클린룸 내부 모습을 구현했다. 클린룸이 어떻게 청정하게 유지되는지를 생생하게 표현하기도 했다.

삼성전자는 “클린룸에 설치된 고효율 필터는 0.1마이크로미터(㎛) 수준의 먼지, 각종 바이러스 등을 99% 이상 포집할 수 있다”며 “바이러스가 유입되거나 내부에서 바이러스가 재순환될 가능성은 매우 희박하다”고 강조했다.

<김도현 기자>dobest@ddaily.co.kr


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